Was ist ein Klumpen mit Beinen dran und ähnelt einer Wasserblase? Eine stark vergrößerte Blattlaus. Nicht fressend auf den Rosenblättern im heimischen Garten, sondern unter 500-facher Vergrößerung sieht diesen seltenen Anblick eine Besuchergruppe am Sonnabend im IHP. Möglich macht dies das Raster-Elektronen-Mikroskop (REM), das unfassbar kleine Dinge sichtbar macht. "Bis zu 100 000-fache Vergrößerungen und mehr sind möglich", erklärt Anne-Kristin Jentzsch, Pressebeauftragte.  "Boah, guck mal", sagt ein Junge und stupst seinen Vater an. Denn nun sind die langen Beine eines einzelnen Flohs zu sehen. "Habe ich draußen beim Picknick gefangen", erzählt der IHP-Mitarbeiter.
Um 10 Uhr eröffnet Bernd Tillack, wissenschaftlich-technischer Geschäftsführer, den Tag der offenen Tür im Markendorfer Technologiepark. Das IHP betreibt Forschung und Entwicklung zu siliziumbasierten Systemen, wie Mikrochips, Höchstfrequenz-Schaltungen und Technologien für die drahtlose und die Breitbandkommunikation. Nach der Begrüßung können Besucher einen Blick in die Labore werfen oder einen Drohne mit dem Simulator fliegen.
Nachdem viele Kinder interessiert den 3D-Druckern bei der Arbeit zuschauten, sitzen sie um 11 Uhr wie Studenten im Vortragsraum; Kinderuni ist angesagt. Auf Deutsch und auf Polnisch lernt der Nachwuchs etwas über die kleinen Chips in seinen Handys.
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Die Erwachsenen lassen sich derweil das MBE-Labor erklären – die Molekularstrahlepitaxie, auf Englisch: Molecular Beam Epitaxy. "Durch unsere Anlage mit fünf Reaktoren haben wir herausragende Bedingungen für die Grundlagenforschung", erklärt der Laborleiter, Gunther Lippert. Denn in der Materialforschung des IHP werden durch die Kombination  verschiedener Elemente neue Materialeigenschaften erzielt, so Lippert. Ein physikalisches Verfahren der "Gasphasenabscheidung" ermögliche es, Schichten im Nanobereich (atomarer Bereich) gezielt wachsen zu lassen; Halbleiter-Schichtstrukturen entstehen.
Über zwei Treppen gelangen die Gäste zum Reinraum, der insgesamt 1000 Quadratmeter groß ist. Zurzeit wird sogar noch um 500 Quadratmeter angebaut. "Bitte zuerst die blauen Plaste-Füßlinge anziehen", sagt Mirko Fraschke, zum Schutz der hochsensiblen Technik. Hier oben finden nämlich die technologischen Entwicklungen und die Präparation von Hochgeschwindigkeits-Schaltkreisen statt. Der IHP-Mitarbeiter hat einen "Wafer" in der Hand (englisch für "Waffel" oder "Oblate"), den eine dicke Hülle umgibt. Die kreisrunde, etwa ein Millimeter dicke Scheibe dient als Substrat (Grundplatte) für die Mikrochips. Zirka 50 solcher bunt-schillernden Wafer werden pro Woche im Reinraum produziert. Sie bestehen aus Silicium, dem vierthäufigsten Element auf Erden. "Da haben wir immer genug Nachschub", sagt Fraschke.
Sauberkeit wird im Reinraum groß geschrieben: Hinter den Glasscheiben schweben höchstens Partikel in der Luft, die nicht größer als ein 800stel eines menschlichen Haars sind. Eine spezielle Luftfilteranlage macht es möglich. Auch für Ruhe ist gesorgt. Denn bereits kleinste Vibrationen der nahen A12 seien zu viel für die empfindliche Technik. Deswegen umgibt den Reinraum nochmal eine Schutzhülle – "Ein Haus im Haus", erläutert Fraschke.  Wie teuer eine Kiste mit 24 "Waffeln" sei? So viel wie ein Kleinwagen. Da staunen die Gäste am Ende nicht schlecht.